Plasma Drift La Sfida Nascosta nei Processi di Lunga Durata
@Plasma I sistemi raramente falliscono all'improvviso. Più spesso, si allontanano. Piccole variazioni nelle condizioni dell'elettrodo, nella purezza del gas, nell'equilibrio termico o nella storia della camera alterano lentamente il comportamento del plasma nel tempo. Questo allontanamento è difficile da rilevare perché il processo appare ancora stabile, solo meno coerente. Plasma XPL affronta questo problema concentrandosi su un'analisi continua piuttosto che su una calibrazione una tantum. Invece di assumere che le condizioni del plasma rimangano fisse, tiene traccia di sottili cambiamenti comportamentali man mano che emergono. Identificando precocemente l'allontanamento, Plasma $XPL aiuta a mantenere la coerenza del processo su cicli operativi più lunghi. Nell'ingegneria del plasma, la stabilità a lungo termine non riguarda il mantenimento delle impostazioni costanti, ma la comprensione di come le condizioni evolvono.
